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TOC超純水 超純水設備
發布時間： 2025/2/18 有效時間： 2025/8/18

詳細介紹

TOC超純水

微電子行業制備超純水流程中，因紫外線技術在超純水高品質要求中不引入新的物質，而得到廣泛應用。

有機物是超純水系統中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰，對超純水中TOC值的要求越來越高，因此，如何配置紫外線，如何確認配置中紫外線設備的有效紫外劑量，進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運營困擾。

185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

超純水可以在以下領域使用：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
（2）化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
（4）高壓變電器的清洗等


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TOC超純水

產品規格：

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T＞80%@185nm

鎮流器

50~100%輸出功率可調

反應器材質

316L

潔凈等級

內外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2）

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55，碳鋼噴塑

控制系統

本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

UV強度傳感器

分辨率0.01mw/cm2







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